OTFC-1550光学镀膜机配置
真空室：SUS304,Ф1550*1800MM
工件架：Ф1400
工件架转速：10rpm to 30rpm (可变)
光学膜厚控制：HOM2- -R -VIS350A
光学膜厚监控仪：波长范围: 350nm to 1100nm |反射式
水晶式膜厚计：XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源：双枪二手机，伞一个
离子源：17寸射频源
排气系统：机械泵1个二手机，扩散泵Polycold 275机械泵+爱德华配套罗茨泵
性能
电源：3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA
水流量：180升/分以上
空气压力：0.5MPa以上
重量：约11000kg
年份：2014-2015年
销售技术：13723521401 杨经理
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